激光剝蝕系統的主要功能是利用193nm的準分子激光把地質樣品(礦物、玻璃)剝蝕出來，利用高純He氣把樣品以氣溶膠的形式送入到電感耦合等離子質譜中進行分析?？臻g分辨率高，激光束斑最小為4微米，可以對感興趣的微小區域進行分析。激光能量密度大，可以剝蝕像石英等相對透明的礦物。
激光剝蝕
激光剝蝕的特性：
1、能夠準確測定各類樣品中ppb級的痕量元素濃度及類型
2、LA-ICP-MS在進行整體分析時降低了對樣品前處理的要求，有助于難消解陶瓷和合金材料的分析
3、簡化并/或免除了樣品前處理過程，縮短了分析時間
4、無損采樣保留了大部分原始樣品，因此在必要時就能對樣品進行更多的測定
5、集成控制能夠對預定義剝蝕點進行無人值守的序列分析
6、能夠實時處理數據
7、與可選軟件包（包括Glitter數據提取軟件）兼容
激光剝蝕的控制系統：
1、J200氣體控制系統使用了兩個高精度、數字化質量流量控制器（MFC）和電子控制閥，用于氬氣、氦氣及補充氣體的輸送。
2、運輸氣體和補充氣體流向樣品室，ICP-MS系統按順序自動運行，并被精確控制，帶來理想的氣流，防止等離子體火焰熄滅。預設配置可以選擇輸送氬氣、氦氣或補充氣體。
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